1.測(cè)量方式上
氣動(dòng)測(cè)量為沒有測(cè)量力的不接觸式測(cè)量；
電感測(cè)量為有微小測(cè)量力的接觸式測(cè)量。
2.測(cè)量值
氣動(dòng)測(cè)量的一個(gè)小區(qū)域的平均值（氣嘴區(qū)域）；
電感測(cè)量是測(cè)量工件上的一點(diǎn)，測(cè)量的大值。
3.測(cè)頭結(jié)構(gòu)
氣動(dòng)測(cè)頭的結(jié)構(gòu)是單零件結(jié)構(gòu)，構(gòu)造比較簡(jiǎn)單；
電感測(cè)頭的結(jié)構(gòu)是多零件結(jié)構(gòu)，構(gòu)造比較復(fù)雜。
4.對(duì)能源的需求
氣動(dòng)測(cè)量 需要?dú)夂碗姡?br />
電感測(cè)量 需要電。
5.測(cè)量對(duì)切屑和灰塵的敏感度
氣動(dòng)測(cè)量不敏感，因?yàn)椴唤佑|測(cè)量且測(cè)量的是一個(gè)小區(qū)域的平均值；
電感測(cè)量敏感，因?yàn)槭墙佑|式測(cè)量且為點(diǎn)接觸測(cè)量，測(cè)量的是大值。
6.校準(zhǔn)過程
氣動(dòng)測(cè)量校正規(guī)校準(zhǔn)（雙規(guī)校準(zhǔn)）；
電感測(cè)量 零位較正規(guī)校準(zhǔn)（單規(guī)校準(zhǔn)）。
7． 重復(fù)精度和測(cè)量不確定度
氣動(dòng)測(cè)量相對(duì)較高；
電感測(cè)量相對(duì)較低。
8.可靠性
氣動(dòng)測(cè)量依賴于放大器的精度和環(huán)境條件；
電感測(cè)量依賴于測(cè)頭質(zhì)量和環(huán)境條件。
9.自動(dòng)化項(xiàng)目選用
氣動(dòng)量?jī)x相對(duì)配合間隙較小，需要非標(biāo)測(cè)頭做相應(yīng)倒角并配有浮動(dòng)機(jī)構(gòu)；
電感量?jī)x相對(duì)配合間隙較大，應(yīng)用相對(duì)容易，對(duì)機(jī)械運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)精度要求相對(duì)較低。
